Optical and structural studies of nanocrystalline silicon thin film grown by rapid thermal annealing: Fid-Bau Portal

Optical and structural studies of nanocrystalline silicon thin film grown by rapid thermal annealing

Toyama, T. / Ouchida, T. / Okamoto, H. / Hamakawa, Y.

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Titel:

Optical and structural studies of nanocrystalline silicon thin film grown by rapid thermal annealing

Beteiligte:

Toyama, T. (Autor:in) / Ouchida, T. (Autor:in) / Okamoto, H. (Autor:in) / Hamakawa, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 113/114 ; 130-134

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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