Selected-area deposition of diamond films on SiN/Si surfaces with microwave plasma enhanced CVD: Fid-Bau Portal

Selected-area deposition of diamond films on SiN/Si surfaces with microwave plasma enhanced CVD

Chen, Y.-H. / Hu, C.-T. / Lin, I.-N.

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Titel:

Selected-area deposition of diamond films on SiN/Si surfaces with microwave plasma enhanced CVD

Beteiligte:

Chen, Y.-H. (Autor:in) / Hu, C.-T. (Autor:in) / Lin, I.-N. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 113/114 ; 231-237

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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