Microstructure evolution of hydrogenated silicon thin films at different hydrogen incorporation: Fid-Bau Portal

Microstructure evolution of hydrogenated silicon thin films at different hydrogen incorporation

Hwang, H. L. / Wang, K. C. / Hsu, K. C. / Wang, R. Y. / Yew, T. R. / Loferski, J. J.

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Titel:

Microstructure evolution of hydrogenated silicon thin films at different hydrogen incorporation

Beteiligte:

Hwang, H. L. (Autor:in) / Wang, K. C. (Autor:in) / Hsu, K. C. (Autor:in) / Wang, R. Y. (Autor:in) / Yew, T. R. (Autor:in) / Loferski, J. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 113/114 ; 741-749

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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