Molecular layer epitaxy by real-time optical process monitoring: Fid-Bau Portal

Molecular layer epitaxy by real-time optical process monitoring

Bachmann, K. J. / Hoepfner, C. / Sukidi, N. / Miller, A. E. / Harris, C. / Aspnes, D. E. / Dietz, N. A. / Tran, H. T. / Beeler, S. / Ito, K.

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Titel:

Molecular layer epitaxy by real-time optical process monitoring

Beteiligte:

Bachmann, K. J. (Autor:in) / Hoepfner, C. (Autor:in) / Sukidi, N. (Autor:in) / Miller, A. E. (Autor:in) / Harris, C. (Autor:in) / Aspnes, D. E. (Autor:in) / Dietz, N. A. (Autor:in) / Tran, H. T. (Autor:in) / Beeler, S. (Autor:in) / Ito, K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 112 ; 38-47

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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