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ALE-reactor for large area depositions

Skarp, J. I. / Soininen, P. J. / Soininen, P. T.

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Titel:

ALE-reactor for large area depositions

Beteiligte:

Skarp, J. I. (Autor:in) / Soininen, P. J. (Autor:in) / Soininen, P. T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 112 ; 251-254

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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