Chemicodynamic Etching Method for Making Angle Laps in Semiconductor Wafers: Fid-Bau Portal

Chemicodynamic Etching Method for Making Angle Laps in Semiconductor Wafers

Perevoshchikov, V. A. / Skupov, V. D. / Shengurov, V. G.

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Titel:

Chemicodynamic Etching Method for Making Angle Laps in Semiconductor Wafers

Beteiligte:

Perevoshchikov, V. A. (Autor:in) / Skupov, V. D. (Autor:in) / Shengurov, V. G. (Autor:in)

Erschienen in:

INDUSTRIAL LABORATORY C/C OF ZAVODSKAIA LABORATORIIA ; 62 ; 508-510

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0019-8447

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 607.2

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