Microstructural studies of Fe-silicide films produced by metal vapor vacuum arc ion implantation of Fe into Si substrates: Fid-Bau Portal

Microstructural studies of Fe-silicide films produced by metal vapor vacuum arc ion implantation of Fe into Si substrates

Jin, S. / Bender, H. / Li, X. N. / Zhang, Z. / Dong, C. / Gong, Z. X. / Ma, T. C.

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Titel:

Microstructural studies of Fe-silicide films produced by metal vapor vacuum arc ion implantation of Fe into Si substrates

Beteiligte:

Jin, S. (Autor:in) / Bender, H. (Autor:in) / Li, X. N. (Autor:in) / Zhang, Z. (Autor:in) / Dong, C. (Autor:in) / Gong, Z. X. (Autor:in) / Ma, T. C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 115 ; 116-123

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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