Montecarlo simulation of ion implantation into SiC-6H single crystal including channeling effect: Fid-Bau Portal

Montecarlo simulation of ion implantation into SiC-6H single crystal including channeling effect

Morvan, E. / Godignon, P. / Montserrat, J. / Fernandez, J. / Flores, D. / Millan, J. / Chante, J. P.

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Titel:

Montecarlo simulation of ion implantation into SiC-6H single crystal including channeling effect

Beteiligte:

Morvan, E. (Autor:in) / Godignon, P. (Autor:in) / Montserrat, J. (Autor:in) / Fernandez, J. (Autor:in) / Flores, D. (Autor:in) / Millan, J. (Autor:in) / Chante, J. P. (Autor:in) / Camassel, J. / Fricke, K. / Krozer, V.

Erschienen in:

High Temperature Electronics: Materials, Devices and Applications ; 218-222

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 46

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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