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Ultrathin silicide formation for ULSI devices

Tung, R. T.

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Titel:

Ultrathin silicide formation for ULSI devices

Beteiligte:

Tung, R. T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 117/118 ; 268-274

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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