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Characterization of damage in electron cyclotron resonance plasma etched compound semiconductors

Pearton, S. J.

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Titel:

Characterization of damage in electron cyclotron resonance plasma etched compound semiconductors

Beteiligte:

Pearton, S. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 117/118 ; 597-604

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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