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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Kinetic studies on thermal decomposition of MOVPE sources using fourier transform infrared spectroscopy

    Beteiligte:

    Sugiyama, M. (Autor:in) / Kusunoki, K. (Autor:in) / Shimogaki, Y. (Autor:in) / Sudo, S. (Autor:in) / Nakano, Y. (Autor:in) / Nagamoto, H. (Autor:in) / Sugawara, K. (Autor:in) / Tada, K. (Autor:in) / Komiyama, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 117/118 ; 746-752

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1997

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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