Chemical bevelling of GaAs-based structures: Fid-Bau Portal

Chemical bevelling of GaAs-based structures

Srnanek, R. / Novotny, I. / Hotovy, I. / Gomati, M. E.

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Titel:

Chemical bevelling of GaAs-based structures

Beteiligte:

Srnanek, R. (Autor:in) / Novotny, I. (Autor:in) / Hotovy, I. (Autor:in) / Gomati, M. E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 47 ; 127-130

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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