High-resolution scanning capacitance microscopy by angle bevelling: Fid-Bau Portal

High-resolution scanning capacitance microscopy by angle bevelling

Giannazzo, F. / Raineri, V. / Privitera, V. / Priolo, F.

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Titel:

High-resolution scanning capacitance microscopy by angle bevelling

Beteiligte:

Giannazzo, F. (Autor:in) / Raineri, V. (Autor:in) / Privitera, V. (Autor:in) / Priolo, F. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 4 ; 77-80

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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