Numerical study and optimization of chemical vapor deposition process in fabricating zinc selenide films: Fid-Bau Portal

Numerical study and optimization of chemical vapor deposition process in fabricating zinc selenide films

Vorob'ev, A. N. / Garibin, E. A. / Khoruzhnikov, S. E. / Mironov, I. A.

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Titel:

Numerical study and optimization of chemical vapor deposition process in fabricating zinc selenide films

Beteiligte:

Vorob'ev, A. N. (Autor:in) / Garibin, E. A. (Autor:in) / Khoruzhnikov, S. E. (Autor:in) / Mironov, I. A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 47 ; 204-209

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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