Atomic force microscopy investigations of rapid thermal carbonized silicon: Fid-Bau Portal

Atomic force microscopy investigations of rapid thermal carbonized silicon

Romanus, H. / Cimalla, V. / Kromka, A. / Scheiner, J. / Spiess, L. / Pezoldt, J.

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Titel:

Atomic force microscopy investigations of rapid thermal carbonized silicon

Beteiligte:

Romanus, H. (Autor:in) / Cimalla, V. (Autor:in) / Kromka, A. (Autor:in) / Scheiner, J. (Autor:in) / Spiess, L. (Autor:in) / Pezoldt, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 47 ; 274-278

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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