Pulsed laser deposition of tantalum oxide thin films: Fid-Bau Portal

Pulsed laser deposition of tantalum oxide thin films

Zhou, M. / Fu, Z. / Yang, H. / Zhang, Z. / Qin, Q.

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Titel:

Pulsed laser deposition of tantalum oxide thin films

Beteiligte:

Zhou, M. (Autor:in) / Fu, Z. (Autor:in) / Yang, H. (Autor:in) / Zhang, Z. (Autor:in) / Qin, Q. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 108 ; 399-403

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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