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Micromachined pressure sensors: review and recent developments

Eaton, W. P. / Smith, J. H.

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Titel:

Micromachined pressure sensors: review and recent developments

Beteiligte:

Eaton, W. P. (Autor:in) / Smith, J. H. (Autor:in)

Erschienen in:

SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 6 ; 530-539

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0964-1726

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 530

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