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In lithographic techniques for forming nanostructures

Ober, C. K. / Gabor, A. H. / Gallagher-Wetmore, P. / Allen, R. D.

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Titel:

In lithographic techniques for forming nanostructures

Beteiligte:

Ober, C. K. (Autor:in) / Gabor, A. H. (Autor:in) / Gallagher-Wetmore, P. (Autor:in) / Allen, R. D. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH- ; 9 ; 1039-1043

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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