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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Tilt-axis effect on oxidation behaviour and capacitance-voltage characteristics of (100) silicon

    Beteiligte:

    Woo, H. J. (Autor:in) / Choi, D. J. (Autor:in) / Kim, G. H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 32 ; 6101-6106

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1997

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0022-2461

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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