Epitaxial growth of �-SiC thin films on a 6H-SiC substrate using the chemical solution deposition method: Fid-Bau Portal

Epitaxial growth of -SiC thin films on a 6H-SiC substrate using the chemical solution deposition method

Heimann, D. / Wagner, T. / Bill, J. / Aldinger, F. / Lange, F. F.

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Titel:

Epitaxial growth of -SiC thin films on a 6H-SiC substrate using the chemical solution deposition method

Beteiligte:

Heimann, D. (Autor:in) / Wagner, T. (Autor:in) / Bill, J. (Autor:in) / Aldinger, F. (Autor:in) / Lange, F. F. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 12 ; 3099-3101

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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