Scanning and transmission electron microscopies of single-crystal silicon microworn/machined using atomic force microscopy: Fid-Bau Portal

Scanning and transmission electron microscopies of single-crystal silicon microworn/machined using atomic force microscopy

Koinkar, V. N. / Bhushan, B.

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Titel:

Scanning and transmission electron microscopies of single-crystal silicon microworn/machined using atomic force microscopy

Beteiligte:

Koinkar, V. N. (Autor:in) / Bhushan, B. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 12 ; 3219-3224

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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