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Synthesis of AlN by reactive sputtering

Randriamora, F. / Bruyere, J. C. / Deneuville, A.

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Titel:

Synthesis of AlN by reactive sputtering

Beteiligte:

Randriamora, F. (Autor:in) / Bruyere, J. C. (Autor:in) / Deneuville, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 50 ; 272-276

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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