Effect of slurry viscosity modification on oxide and tungsten CMP: Fid-Bau Portal

Effect of slurry viscosity modification on oxide and tungsten CMP

Grover, G. S. / Liang, H. / Ganeshkumar, S. / Fortino, W.

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Titel:

Effect of slurry viscosity modification on oxide and tungsten CMP

Beteiligte:

Grover, G. S. (Autor:in) / Liang, H. (Autor:in) / Ganeshkumar, S. (Autor:in) / Fortino, W. (Autor:in)

Erschienen in:

WEAR -LAUSANNE- ; 214 ; 10-13

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0043-1648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11292

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