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    Titel:

    Distribution of Paramagnetic Defects in 3C-SiC Epitaxial Films Grown by LPCVD Method with Alternate Gas Supply

    Beteiligte:

    Izumi, T. (Autor:in) / Kobayashi, K. (Autor:in) / Hirosawa, E. (Autor:in) / Kawahara, T. (Autor:in) / Nagasawa, H. (Autor:in) / Pensl, G. / Morkoc, H. / Monemar, B. / Janzen, E.

    Erschienen in:

    Silicon Carbide, III-Nitrides and Related Materials ; 619-622

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 264/268

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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