Radical Processes in the Pyrolysis of Trialkyl Compounds of Group 13 CVD Precursors: Fid-Bau Portal

Radical Processes in the Pyrolysis of Trialkyl Compounds of Group 13 CVD Precursors

Russell, D. K. / Mills, G. P. / Raynor, J. B. / Workman, A. D.

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Titel:

Radical Processes in the Pyrolysis of Trialkyl Compounds of Group 13 CVD Precursors

Beteiligte:

Russell, D. K. (Autor:in) / Mills, G. P. (Autor:in) / Raynor, J. B. (Autor:in) / Workman, A. D. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH- ; 10 ; 61-67

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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