Excimer laser synthesis of thin AlN coatings: Fid-Bau Portal

Excimer laser synthesis of thin AlN coatings

Boulmer-Leborgne, C. / Thomann, A. L. / Andreazza, P. / Andreazza-Vignolle, C. / Hermann, J. / Craciun, V. / Echegut, P. / Craciun, D.

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Titel:

Excimer laser synthesis of thin AlN coatings

Beteiligte:

Boulmer-Leborgne, C. (Autor:in) / Thomann, A. L. (Autor:in) / Andreazza, P. (Autor:in) / Andreazza-Vignolle, C. (Autor:in) / Hermann, J. (Autor:in) / Craciun, V. (Autor:in) / Echegut, P. (Autor:in) / Craciun, D. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 125 ; 137-148

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

12 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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