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    Titel:

    Micromachining and mechanical properties of GaInAs/InP microcantilevers

    Beteiligte:

    Mounaix, P. (Autor:in) / Delobelle, P. (Autor:in) / Melique, X. (Autor:in) / Bornier, L. (Autor:in) / Lippens, D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 51 ; 258-262

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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