Characterization of sputtered iridium dioxide thin films: Fid-Bau Portal

Characterization of sputtered iridium dioxide thin films

Liao, P. C. / Ho, W. S. / Huang, Y. S. / Tiong, K. K.

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Titel:

Characterization of sputtered iridium dioxide thin films

Beteiligte:

Liao, P. C. (Autor:in) / Ho, W. S. (Autor:in) / Huang, Y. S. (Autor:in) / Tiong, K. K. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 13 ; 1318-1326

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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