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Properties of radio frequency magnetron sputtered silicon dioxide films

Wu, W.-F. / Chiou, B.-S.

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Titel:

Properties of radio frequency magnetron sputtered silicon dioxide films

Beteiligte:

Wu, W.-F. (Autor:in) / Chiou, B.-S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 99 ; 237-243

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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