SiC~xN~y thin films alloys prepared by pulsed excimer laser deposition: Fid-Bau Portal

SiC~xN~y thin films alloys prepared by pulsed excimer laser deposition

Machorro, R. / Samano, E. C. / Soto, G. / Cota, L.

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Titel:

SiC~xN~y thin films alloys prepared by pulsed excimer laser deposition

Beteiligte:

Machorro, R. (Autor:in) / Samano, E. C. (Autor:in) / Soto, G. (Autor:in) / Cota, L. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 127-129 ; 564-568

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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