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    Titel:

    Micro/nanotribological studies of polysilicon and SiC films for MEMS applications

    Beteiligte:

    Sundararajan, S. (Autor:in) / Bhushan, B. (Autor:in)

    Erschienen in:

    WEAR -LAUSANNE- ; 217 ; 251-261

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    11 pages

    ISSN:

    0043-1648

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11292

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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