Monte carlo simulation of micro-cracking in polysilicon MEMS exposed to shocks: Fid-Bau Portal

Monte carlo simulation of micro-cracking in polysilicon MEMS exposed to shocks

Mariani, S. / Martini, R. / Ghisi, A. / Corigliano, A. / Simoni, B.

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Titel:

Monte carlo simulation of micro-cracking in polysilicon MEMS exposed to shocks

Beteiligte:

Mariani, S. (Autor:in) / Martini, R. (Autor:in) / Ghisi, A. (Autor:in) / Corigliano, A. (Autor:in) / Simoni, B. (Autor:in)

Erschienen in:

INTERNATIONAL JOURNAL OF FRACTURE ; 167 ; 83-101

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

19 pages

ISSN:

0376-9429

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1126

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