Fabrication of on-chip barium strontium titanate capacitors by metallo-organic decomposition: Fid-Bau Portal

Fabrication of on-chip barium strontium titanate capacitors by metallo-organic decomposition

Catalan, A. B. / Chang, S.-C. / Poisson, R. J. / Baney, W. J. / Benci, J. E.

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Titel:

Fabrication of on-chip barium strontium titanate capacitors by metallo-organic decomposition

Beteiligte:

Catalan, A. B. (Autor:in) / Chang, S.-C. (Autor:in) / Poisson, R. J. (Autor:in) / Baney, W. J. (Autor:in) / Benci, J. E. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 13 ; 1548-1552

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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