Control of epitaxial orientation of TiN thin films grown by N-implantation: Fid-Bau Portal

Control of epitaxial orientation of TiN thin films grown by N-implantation

Kasukabe, Y. / Ito, A. / Nagata, S. / Kishimoto, M. / Fujino, Y. / Yamaguchi, S. / Yamada, Y.

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Titel:

Control of epitaxial orientation of TiN thin films grown by N-implantation

Beteiligte:

Kasukabe, Y. (Autor:in) / Ito, A. (Autor:in) / Nagata, S. (Autor:in) / Kishimoto, M. (Autor:in) / Fujino, Y. (Autor:in) / Yamaguchi, S. (Autor:in) / Yamada, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 130-132 ; 643-650

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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