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Oxidation of silicon by perchloric acid

Nishiyama, M. / Mizokuro, T. / Yoneda, K. / Kobayashi, H.

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Titel:

Oxidation of silicon by perchloric acid

Beteiligte:

Nishiyama, M. (Autor:in) / Mizokuro, T. (Autor:in) / Yoneda, K. (Autor:in) / Kobayashi, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 133 ; 287-292

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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