Growth, microstructure, and resistivity of RuO~2 thin films grown by metal-organic chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

Growth, microstructure, and resistivity of RuO~2 thin films grown by metal-organic chemical vapor deposition

Vetrone, J. / Foster, C. M. / Bai, G.-R. / Wang, A. / Patel, J. / Wu, X.

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Titel:

Growth, microstructure, and resistivity of RuO~2 thin films grown by metal-organic chemical vapor deposition

Beteiligte:

Vetrone, J. (Autor:in) / Foster, C. M. (Autor:in) / Bai, G.-R. (Autor:in) / Wang, A. (Autor:in) / Patel, J. (Autor:in) / Wu, X. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 13 ; 2281-2290

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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