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    Titel:

    Stress anisotropy and structure of TiN thin films

    Beteiligte:

    Conradi, T. (Autor:in) / Hubenthal, F. (Autor:in) / Roell, K. (Autor:in) / Stobiecki, T. (Autor:in) / Thoma, K. (Autor:in) / Berg, G. (Autor:in) / Broszeit, E. (Autor:in) / Bauer, S. (Autor:in) / Bock, W. (Autor:in) / Scheib, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALWISSENSCHAFT UND WERKSTOFFTECHNIK ; 29 ; 476-483

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0933-5137

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Deutsch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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