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Titanium Nitride - Silicon Nitride Composite Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering

Patscheider, J. / Diserens, M. / Levy, F.

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Titel:

Titanium Nitride - Silicon Nitride Composite Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering

Beteiligte:

Patscheider, J. (Autor:in) / Diserens, M. (Autor:in) / Levy, F. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 287/288 ; 267-268

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

2 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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