Deposition and Characterization of Metal Containing Amorphous Hydrocarbon Films (Me-C:H) Prepared by DC Magnetron Sputtering: Fid-Bau Portal

Deposition and Characterization of Metal Containing Amorphous Hydrocarbon Films (Me-C:H) Prepared by DC Magnetron Sputtering

Specht, C. / Schroeder, J. / Wittorf, R. / Grischke, M. / Bewilogua, K.

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Titel:

Deposition and Characterization of Metal Containing Amorphous Hydrocarbon Films (Me-C:H) Prepared by DC Magnetron Sputtering

Beteiligte:

Specht, C. (Autor:in) / Schroeder, J. (Autor:in) / Wittorf, R. (Autor:in) / Grischke, M. (Autor:in) / Bewilogua, K. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 287/288 ; 383-386

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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