Probing of microvoids in high-rate deposited a-Si:H thin films by variable energy positron annihilation spectroscopy: Fid-Bau Portal

Probing of microvoids in high-rate deposited a-Si:H thin films by variable energy positron annihilation spectroscopy

Zou, X. / Webb, D. P. / Chan, Y. C. / Lam, Y. W. / Hu, Y. F. / Fung, S. / Beling, C. D.

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Titel:

Probing of microvoids in high-rate deposited a-Si:H thin films by variable energy positron annihilation spectroscopy

Beteiligte:

Zou, X. (Autor:in) / Webb, D. P. (Autor:in) / Chan, Y. C. (Autor:in) / Lam, Y. W. (Autor:in) / Hu, Y. F. (Autor:in) / Fung, S. (Autor:in) / Beling, C. D. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 13 ; 2833-2840

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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