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A study on the residual stress measurement methods on chemical vapor deposition diamond films

Jung Geun Kim / Yu, J.

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Titel:

A study on the residual stress measurement methods on chemical vapor deposition diamond films

Beteiligte:

Jung Geun Kim (Autor:in) / Yu, J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 13 ; 3027-3033

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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