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    Titel:

    Mechanism of TiN barrier-metal oxidation in a ferroelectric random access memory

    Beteiligte:

    Kushida-Abdelghafar, K. (Autor:in) / Torii, K. (Autor:in) / Takatani, S. (Autor:in) / Matsui, Y. (Autor:in) / Fujisaki, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 13 ; 3265-3269

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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