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    Titel:

    Phase distinction in semi-insulating polycrystalline silicon by pattern recognition of X-ray photoelectron spectroscopy/X-ray-induced Auger electron spectroscopy data

    Beteiligte:

    Lesiak, B. (Autor:in) / Zemek, J. (Autor:in) / Jozwik, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 135 ; 318-330

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    13 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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