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    Titel:

    Design of Microelectrode Arrays for Electrostatic Microactuators and Capacitive Microsensors

    Beteiligte:

    Chang, P. (Autor:in) / Chang, C. (Autor:in) / Yen, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF INTELLIGENT MATERIAL SYSTEMS AND STRUCTURES ; 9 ; 95-103

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    9 pages

    ISSN:

    1045-389X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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