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    Titel:

    Surface smoothing and patterning of SiC by focused ion beams

    Beteiligte:

    Menzel, R. (Autor:in) / Bachmann, T. (Autor:in) / Machalett, F. (Autor:in) / Wesch, W. (Autor:in) / Lang, U. (Autor:in) / Wendt, M. (Autor:in) / Musil, C. (Autor:in) / Muehle, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 136 ; 1-7

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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