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    Titel:

    Phosphorus diffusion from a spin-on doped glass (SOD) source during rapid thermal annealing

    Beteiligte:

    Mathiot, D. (Autor:in) / Lachiq, A. (Autor:in) / Slaoui, A. (Autor:in) / Noeel, S. (Autor:in) / Muller, J. C. (Autor:in) / Dubois, C. (Autor:in) / Slaoui, A. / Singh, R. K. / Theiler, T. / Muller, J. C.

    Erschienen in:

    Papers presented at the European Materials Research Society 1998 Meeting. Symposium I: Rapid Thermal Processing ; 231-236

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 1

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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