Thin film microstructure control using glancing angle deposition by sputtering: Fid-Bau Portal

Thin film microstructure control using glancing angle deposition by sputtering

Sit, J. C. / Vick, D. / Robbie, K. / Brett, M. J.

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Titel:

Thin film microstructure control using glancing angle deposition by sputtering

Beteiligte:

Sit, J. C. (Autor:in) / Vick, D. (Autor:in) / Robbie, K. (Autor:in) / Brett, M. J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 14 ; 1197-1199

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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