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Reduction of intrinsic stresses during the chemical vapor deposition of diamond

Nijhawan, S. / Jankovsky, S. M. / Sheldon, B. W. / Walden, B. L.

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Titel:

Reduction of intrinsic stresses during the chemical vapor deposition of diamond

Beteiligte:

Nijhawan, S. (Autor:in) / Jankovsky, S. M. (Autor:in) / Sheldon, B. W. (Autor:in) / Walden, B. L. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 14 ; 1046-1054

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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