Reactive pulsed laser ablation and deposition of thin indium tin oxide films for solid state compact sensors: Fid-Bau Portal

Reactive pulsed laser ablation and deposition of thin indium tin oxide films for solid state compact sensors

Teghil, R. / Marotta, V. / Guidoni, A. G. / Di Palma, T. M. / Flamini, C.

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Titel:

Reactive pulsed laser ablation and deposition of thin indium tin oxide films for solid state compact sensors

Beteiligte:

Teghil, R. (Autor:in) / Marotta, V. (Autor:in) / Guidoni, A. G. (Autor:in) / Di Palma, T. M. (Autor:in) / Flamini, C. (Autor:in) / Boyd, I. W. / Perriere, J. / Stuke, M.

Erschienen in:

Proceedings of Symposium G on Surface Processing: Laser, Lamp, Plasma of the 1998 E-MRS Spring Conference - Strasbourg, France, June 16-1998 ; 522-526

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 138/139

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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