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Reactive pulsed laser deposition of thin TiN films

Craciun, V. / Craciun, D. / Boyd, I. W.

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Titel:

Reactive pulsed laser deposition of thin TiN films

Beteiligte:

Craciun, V. (Autor:in) / Craciun, D. (Autor:in) / Boyd, I. W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 18 ; 178

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

178 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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